每日經(jīng)濟(jì)新聞 2023-07-14 16:29:43
每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：請問公司電子特種氣體可用于光刻領(lǐng)域么？
中船特氣（688146.SH）7月14日在投資者互動平臺表示，公司生產(chǎn)的混合氣主要應(yīng)用于大規(guī)模集成電路和顯示面板制造過程中的光刻、退火等多個工藝?；谧陨碚莆盏募兓突炫浼夹g(shù)，公司混合氣產(chǎn)品組分純度可達(dá)6N，目前已實現(xiàn)30余種電子混合氣的量產(chǎn)供應(yīng)。
(記者 王可然)
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